二手 ASML XT 1400E #9298749 待售

ASML XT 1400E晶片步进器是为光刻应用而设计的光刻机.它是一个全场、步进和扫描设备，利用高数值孔径（NA）曝光光学器件来生成晶圆的图像，这些图像在处理之前被其成像系统捕获。该机适合在光刻、光掩模生产等广泛的半导体加工应用中成像。XT 1400E光刻机可提供高达每小时18个晶圆的吞吐量和高达13mm平方英尺的场大小,非常适合大中型生产应用。它设计用于处理高达675 nm的分辨率,并且由于其高分辨率光学器件而能够开发出极薄而精确的图层。该单元可用于加工12英寸晶圆，精度高达1.4um。ASML XT 1400E配备了最先进的扫描仪控制器,能够提供高级曝光和对齐控制。该机配备了多种驱动程序软件工具，可用于调整和微调对齐参数，以及针对不同层优化曝光设置。它还能够同时控制大型晶圆生产的多个扫描仪。XT 1400E配备了运动控制工具，旨在提供高分辨率、高精度的舞台移动。该资产采用闭环PID控制模型，以确保准确性和可重复性。它还具有多种输入和输出能力，可以对设备进行远程控制。ASML XT 1400E包括一个业界领先的化学加工装置，旨在以高通量速度提供各种化学品的精确剂量。该单元支持湿法和干法，以及选择性蚀刻和溅射。该化学处理单元还具有读取层间厚度变化，调整化学液滴体积和放置的能力。总体而言，XT 1400E是一种强大而可靠的工业晶片步进器，能够提供精确的成像和化学处理结果。其高通量速度，加上灵活的设计和广泛的曝光和处理能力，使其成为光刻和其他半导体工艺的理想选择。