二手 ASML XT 1400E #9383074 待售

ASML XT 1400E是一种高效可靠的ASML晶圆步进器.它是一个模块化的平版印刷平台,考虑到生产力和性能。它特别适用于先进节点光刻的3D封装、器件缩放等困难的大批量生产应用。XT 1400E晶片步进器基于先进的高功率、多场eXtended源（X-Souse）,可产生并行、多波长的照明,提供更大的聚焦深度和更高的图样放置精度。此外,它还配备了最先进的4级预对准设备,可确保多次曝光时可重复且精确度极高。ASML XT 1400E还具有ASML hyper-NA光学功能,可实现高达193 nm波长限制和更小线宽的高分辨率成像。这确保了先进节点技术的高产量和光刻质量。此外，平台还配备了提供改进的相干带宽的变焦镜头分组。XT 1400E还提供卓越的温度稳定性和CD均匀性控制能力.这是由集成热控系统完成的。这会严格保护设备的成像参数,即使在机器温度变化的情况下也是如此,从而确保了一贯的高光刻性能。ASML XT 1400E的其他功能包括内置的Advanced Pattern Development （APD）软件,它将所有基本的光刻控制功能整合到一个平台中。这使得模式数据准备变得轻松,并消除了许多通常与高级节点生产相关的耗时过程。XT 1400E是一种高度先进的晶圆步进器，能够保证在苛刻的光刻应用中一流的性能。它结合了快速吞吐量、卓越的成像质量、强大的曝光控制、大深度聚焦能力和全面的软件支持,使此平台成为希望突破光刻边界的客户的理想选择。