二手 ASML XT 1400F #9232233 待售

ASML XT 1400F
製造商
ASML
模型
XT 1400F
ID: 9232233
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Immersion lithography system, 12" 2005 vintage.
ASML XT 1400F是一种先进的晶圆步进器,旨在为客户提供无与伦比的精度和性能。自动化系统旨在满足现代半导体制造应用中最严格的模式要求。晶圆步进器配备了15 kV电子束(e-beam)发生器和集成计算机辅助设计(CAD)。晶圆降低到舞台上,并通过电子束的0.2微米孔径成像。电子束产生一个精细的聚焦离子束,被引导到硅片表面。吸收的电荷随后被计算机转换成精确的图样。XT 1400F能够以0.26 x 0.23微米的音高步进,最大扫描速度为80,000线/秒。它采用改进的线性、低失真和低不可重复性设计。晶圆步进系统还设计了冷却系统,以保持最佳温度,确保性能的最高质量。ASML XT 1400F具有高度优化的透镜、集成的离子抑制和增强的照明控制.它为用户提供了一套特定于应用程序的实用程序来自定义步进器并提高工作流效率。晶圆步进器还具有可靠的数据记录接口和关键错误检测功能。XT 1400F代表了晶圆步进技术的最新产品,为客户提供高精度和可靠的性能。ASML XT 1400F凭借其先进的特性和功能,将确保客户保持在半导体阵列技术的最前沿。
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