二手 ASML XT 1400F #9237068 待售

ASML XT 1400F是一种用于生产先进半导体模具的高分辨率、大场无掩码光刻设备。它由一个明亮的内置光源、一个优化的投影光学器件和一个用于基板操作的精密纳米级级组成。XT 1400F采用紫外线光源，能够产生波长为193nm的高功率线路和弧线。这种超精确的光流通过投影光学的空间滤波器和光学元件投射到晶圆级。光子的数量和照明的均匀性可以针对个别应用精确调谐。投影光学器件的设计可提供超过12000 mm2的无与伦比的分辨率和均匀性。它具有多路复用配置、不同尺寸的镜头、激光对准和对焦调节功能,以及集成的污染减少系统,以提供清洁的环境。纳米级级是专为处理尺寸达300毫米的晶片而设计的。它提供X和Y方向200 nm的运动范围和20 nm的Z运动范围,以及高达5000mm/sec的扫描速度。ASML XT 1400F的机器人晶片传输单元可以一次处理多个晶片，允许将晶片精确放置到舞台上，而不会从环境中收集污染物。XT的先进控制和计量功能1400F保证生产的绝对准确性和可重复性。该机包含一套板载的过程控制工具，以便稳定可靠地运行。此外，其先进的基于反馈的算法使接触过程能够迅速适应不断变化的环境，改善过程控制并最大限度地提高产量。ASML XT 1400F是一种高效、可靠、可靠的无掩码光刻工具,可提供高通量、高覆盖精度、无对齐标记的晶片步进性能和无与伦比的分辨率。