二手 ASML XT 1400F #9351329 待售

ASML XT 1400F是一种用于半导体加工的高精度晶圆步进器。它是一种遮罩投影仪，将光投射到基片上，以创造微观模式，以制造集成电路（IC）芯片。通过这样做，晶体管和逻辑门等芯片的多个核心组件可以在单个光刻步骤中创建。XT 1400F配备了多项功能，在投影过程中提供了非凡的准确性和准确性。它使用深紫外线（DUV）-405 nm光波长在基板上创建亚微米图样。这种光刻系统的最大分辨率约为1.4微米。其投影光学设计为减少像差并产生高度精确的图样，而其空间光调制（SLM）单元则可以精确地塑造和控制用于对基板进行图样绘制的光。此外,ASML XT 1400F还配备了许多高级运动控制功能。这包括一个双级显微镜阶段，允许快速和精确的定位。它还配备了多个电机，能够提供精确和可重复的运动。真空夹持器系统也可用于在整个过程中牢固地固定基板。此外，XT 1400F具有高度可靠的高级控制算法，能够确保每次光刻过程一致。它还能够进行多次曝光，每次曝光都有可调参数以获得最佳结果。此外,它还集成了智能缺陷检测系统,可帮助将因缺陷而产生的非功能性芯片数量降至最低。ASML XT 1400F晶片步进器是生产高品质集成电路芯片的重要工具,能够在各种基板上产生分辨率最高为1.4微米的高精密亚微米模式。XT 1400F凭借其卓越的特性和先进的控制算法,确保了功能一致的芯片的高产量,使其成为当今半导体制造的重要工具。