二手 ASML XT 1700 #293817719 待售

ASML XT 1700晶圆步进器是为高端晶圆级设备制造而开发的先进光刻设备，结合了最新的光学成像技术、多轴倾斜级和先进的控制器系统，在设备生产中具有最大的公差和精度。该系统提供了一个强大的成像平台,可用于先进的光掩模和标线制造,其800nm曝光系统的最大有效曝光面积可达550 x 600 mm。光掩模和标线被放置在微米精度的舞台上，然后通过单元移动，在晶圆旋转器上形成完整的图桉。为了实现精确和精确的成像,ASML XT:1700采用了三组高分辨率CCD摄像机,用于图案配准和动态对焦。摄像机通过定制的双轴倾斜绕成像站移动,以优化成像几何形状。这有助于消除像差并确保背景干扰为零,从而确保即使是最小的几何形状的粒子级精度。通过使用ASML Hybrid Tilt Stage Technology实现了高精度晶圆转换。先进的实时位置稳定性伺服控制,可实现高达15,000 um/s的舞台速度,即使对于最繁重的光刻解决方桉,也能实现精确的轮廓跟踪。位于工具中心的控制器机提供对所有集成组件的集成控制,以实现可编程曝光和过程控制。资产的用户界面利用了所有相关参数的直观表格列表，允许快速和容易的参数更改。对各种现场可编程栅极阵列（FPGA）的支持确保了所有工艺之间的低延迟通信,以实现最佳的高产量生产。总体而言，XT 1700晶圆步进器是一种用于最苛刻的设备生产任务的先进光刻模型。它结合了业界领先的成像技术和精确控制，提供了可靠和可重复生产的最大产量的微型特征。