二手 ASML XT 1700FI #293606031 待售

ASML XT 1700FI是用于光刻应用的晶圆步进器。它是一种非常精确、高精度的机器，具有可变形状成像设备和模位基准识别系统。此单元将扫描过程中曝光场的色散降至最低。ASML XT1700FI旨在产生恒定、可重复的景深,从而实现过程稳定性、最大限度地减少粒子生成并解决小的关键特征。XT:1700FI采用高功率、精密的光机制造,可实现高密度和细线宽光刻。该工具由两个组件组成：两环光学资产和光束成形模型。两环光学设备是一种光学对称系统，使用恒定的轨道曲率来减少波前失真。梁成形单元负责通过参数非球面和轴向间距技术减少不需要和不需要的离轴点来控制曝光场的形状。XT1700FI还有一个自动化的Zeemann对齐机，帮助减少标线失真和错位。该工具旨在修正图样传输过程中纳米分辨率的图像变形.ASML XT:1700FI配备了现场平整资产，由可调节的axicon、可调节的减速器和可调节的局域内光学模型组成，有助于消除场曲率和失真，从而产生高清、高精度的曝光。XT 1700FI配备了强大的控制设备,以确保系统的性能和准确性。该控制单元采用用户友好直观的图形用户界面和高级数据分析算法设计，提供实时结果。XT 1700 FI的性能可以通过增加包括隔振机、背面快门面罩和晶圆对准器在内的可选功能而进一步提高，这些功能都是为了最大限度地减少曝光周期中的振动和提高晶圆细节配准精度而设计的。最后，ASML XT 1700 FI极其可靠，设计为以恒定的高性能运行。该机器设计有广泛的安全系统和性能诊断,可监控和控制刀具性能并减少停机时间。