二手 ASML XT 1700FI #293633102 待售

ASML XT 1700FI是半导体工业中使用的一种基于光学的高端紫外线（UV）晶圆步进器。它是一种还原照明的还原步进器，利用双曝光产生有效的航空图像。步进器使用0.248/0.335/0.5nm多曝光阶段,曝光时间短至4.2s。它可以提供4nm以下的线缘粗糙度，以及在亚微米范围内具有纳米级精度和分辨步长的级运动。ASML XT1700FI在其成像设备中采用了最新技术,配备了高度先进的双源照明器,可提供优化的光强度控制。双光源允许在宽工艺窗口中覆盖各种设计，从单程双曝光接触光刻到双多曝光正交对。它为流程优化和可靠的设计执行提供了一个灵活的系统。晶片步进器具有4µm的高光学分辨率、5点编码器和28nm的RMS精度。它支持高达5 GB的镜头计数和单位日志存储。它具有最先进的对齐精度和可调节的刀具中心点，可用于高级迭加能力。其先进的可编程功能还能实现快速定位保护，防止热点损伤和减少排便。XT:1700FI先进相机机提供高达512x512像素传感器分辨率，动态对焦0.3µm-3µm。其复杂的图像处理功能允许实时聚焦、剂量优化和图像不一致。步进器支持的四曝光功能为最高分辨率的光掩码增加了清晰度。ASML XT 1700 FI还通过其内置的通信接口和扩展的远程诊断功能,实现了过程监视、晶圆检查和数据日志记录。这使操作员能够远程诊断、观察和控制生产过程。步进器还配备了"Ready-with-Link"远程操作工具，以确保更高的吞吐量和过程控制。ASML XT:1700FI采用模块化设计,使步进器具有高度的可靠性、无维护和经济效益,并具有升级和扩展的能力。此外,它是一种低噪声、低振动的设备,与各种自动化和机器人处理设备兼容。它是一台功能强大的机器，能够在广泛的半导体应用中提供高性能。