二手 ASML XT 1700FI #9228927 待售

ASML XT 1700FI是为先进集成电路（IC）芯片制造开发的高性能、高精度光刻工具。它是一种基于模板的步进重复曝光设备，包括曝光源、光学柱和晶圆处理系统。在1700FI型号中，曝光头采用了超快氙气灯，其曝光时间比传统光源快两个数量级。通过存在作为脉冲扩散投射单元的柱内光学元件（如冷凝器透镜和中继透镜），进一步改善了曝光。投影光学器件在晶圆上产生高度均匀的照明图样，导致可重复且非常精确的线/空间曝光。1700FI的晶片处理机设计在整个曝光过程中将晶片保持在真空卡盘。这样可以确保对晶片的紧握,从而确保刀具的性能,并防止由于振动对晶片造成任何损坏。晶片处理资产还可以提供支持，以移动或索引晶片级，以满足任何激光对准需求。ASML XT1700FI具有现场和离线曝光功能,可实现自动化、灵活性和可编程性。脱机编程和曝光是通过直观的Interlock Interface Software完成的,它提供了强大的迭加校准、剂量倾斜和通量优化功能。最后，该1700FI的设计具有可靠和首次屈服的性能，并具有现场缺陷修复和校准程序。这使得它成为成本敏感、大批量IC制造的绝佳设备。