二手 ASML XT 1700Gi #9299038 待售

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製造商
ASML
模型
XT 1700Gi
ID: 9299038
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Immersion lithography system, 12" CIM: Secs / GEM Process: Immersion lithography (2) SMIF Factory interfaces FOUP Loader handler system CYMER XLA360 System TEL Lithius interface 24 Character BC Reader Water cooling for EL cabinet Contrast controller Universal prealignment Dosemapper 2006 vintage.
ASML XT 1700Gi是一种高端晶片步进器,专为精确的晶片内阵列设计。它有一个双镜头投影柱和一个量身定制的照明工作模块,提供0.75的数值孔径(NA)和高达1250 x 1750 mm的场大小。它设计用于6至220mm厚的曝光,使其具有广泛的处理范围。步进器的成像系统使用先进的投影光刻技术,将图样图像向下投影到基板上。它还具有6-23mJ/cm2的能量范围,使其适合大多数新的图样材料。此外,它还配备了3 D半各向同性、偏振校正板,使其在紫外线(UV)曝光时能够传递精度和重复性。机器由用户友好、高度直观的图形用户界面(GUI)控制。GUI能够控制复杂的操作序列,并与其他模块集成以生成模式以及跟踪诊断。它还配备了高速模式识别选项,使其能够跟踪和纠正可能发生的任何错误。步进器还拥有高输出晶片级,能够达到高达200毫米/秒的速度。步进器也有不同的配置,允许根据大小和应用需求进行定制。它配备了一个环境控制系统,监测并保持步进器内部的空气清洁。这种监控功能使它能够保持较低的污染水平,使机器能够安全有效地运行。XT 1700Gi是一种先进的晶片步进器,能够产生精确的晶片内部模式,具有广泛的曝光范围。其通用的照明模块和三维半各向同性偏振校正板保证了精度和可重复性。可调速度,结合用户友好的GUI和环境控制系统,使机器成为任何晶片制图任务的可靠和高效的选择。
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