二手 ASML XT 760F #9243126 待售

ASML XT 760F是一种晶圆步进器，它为半导体生产中的光刻目的协调光学、机械和计算功能。它能够将多项目晶片吞吐量提高到其前代产品的四倍,并配备2K真空卡盘和完全AUTO DCG/DCP。ASML XT:760F提供了一个5X/6X高数值孔径系统的选择，无论是I-line或ArF光刻。它配备了双场扫描神经网络，改进了焦点标线和镜头调谐器。双场扫描神经网络具有检测轮廓曲面的能力。场匹配的FXLTM标线可确保晶圆整个曲面的间距模式不一致。XT 760 F采用11度扫描设计，产生极低的失真和超精确的光场放置在晶圆上。它拥有快速调谐系统（FTS），用于快速交换标线，最大光场尺寸为30 µm，用于高级功能。此外,XT 760F还具有广泛的功能,包括通过缺陷剂量预测实现的低排便、用于提高均匀性的4D缝合以及高级晶圆级数据记录。与较旧的晶圆步进器相比,ASML XT 760 F提供了更好的图像和迭加质量。这要归功于其改进的模式校正和自动曝光算法,以及跨曝光领域更好的可重复性。晶圆步进器使用基于Windows的图形用户界面和菜单驱动的软件操作进行管理。通过添加其他选项,包括接触成像、镀铬或扫描清洁器/助推器配置,可以为任何应用程序定制XT:760F。晶圆步进器还有一个内置的安全模块，可以快速检测异常的光掩模或打印条件。ASML XT 760F延续了ASML传统的质量晶圆步进,价格合理.它具有最先进的组件和质量和性能得到改进的设计。使用ASML XT:760F,客户可以期望最大程度地防止晶圆安装缺陷和提高产量。