二手 ASML XT 760F #9273568 待售
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ID: 9273568
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
DUV Scanner, 12"
Sub process: Low KrF
Material / Chemical: Align
SMIF / FOUP
TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Load module
Process module
Workstation
ETC
(70) Lenses
GIGA A700GK Laser
Machine parts and covering panels:
Wafer stage
Bottom module
Charcoal filter
Side channel blower
(5) Machine parts
Process module:
PM1: Light source
PM2: Alignment
PM3: Stage
Cabinet:
ELEC
MDC
LCWC
MCWC
RSRC
WSRC
Air control
Exhaust
Laser:
AOM
LMA
Excimer
Composition:
ETC
Parts
Tool
Operating system: UNIX
2008 vintage.
ASML XT 760F是用于光刻的晶圆步进器。它是一台最先进的机器，能够以最小的方差生产高分辨率元件。它被设计为容纳多种基材，包括石英、硅和玻璃，因此可以按照所需的确切规格生产元件。ASML XT:760F是一种先进的光学投影设备,在x、y和z方向上移动.它还包含一个数字照片处理器,可以在成像时进行测量并确保高精度部件。它具有一个倾斜补偿器，可以校正可能发生的基板或掩模不对准，从而产生优越的精细螺距特征。XT 760 F包含一个8波段光源，可容纳直径达12英寸的各种晶圆尺寸，一次最多可容纳20个晶圆。它还具有电机驱动的半自动晶片处理系统，可以安全移动晶片而不会刮擦或损坏表面。XT:760F的对准和分辨率突出，精度为0.4 µm，线宽变化为0.07 µm。这是超精细螺距元件的理想选择,其强大的光学单元可聚焦到0.2 µm以下的特征尺寸。XT 760F非常可靠,并具有一整套保护措施,以确保与生产的每个部件的一致性和准确性。它有一个装有光学器件的保护柜和一个可以定制以满足任何需要的固定式自动清洗机。为了获得极大的灵活性,ASML XT 760 F还提供无掩码制造功能,允许用户对其进行编程以快速生产组件,而无需掩码。这样可以降低总体生产成本和时间。ASML XT 760F是一种顶级的晶圆步进器,对于任何正在寻找能够达到最高标准的可靠、准确的机器的人来说都是一个绝佳的选择。它是那些需要超精细螺距特性或希望生产高分辨率元件的人的理想机器。
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