二手 ASML XT 760F #9311379 待售

ASML XT 760F是用于光刻应用的晶圆步进器。它采用了一种步进重复成像技术，该技术旨在将图样布局以平版印刷方式转移到半导体材料上。其主要部件包括步进器、X射线源、对准器、光刻透镜和光学对焦设备。步进器是机器的心脏，操作很像投影仪。它配备了电动x-y级，高精度压电电机驱动的光学子系统，以及先进的光源。X-y级将晶片快速准确地移动到所需位置，使其能够暴露于最优的光强度和方向。压电机构提供x-y级和镜头聚焦的运动控制，允许晶片精确放置和对准光刻图样。光源产生紫外线辐射，波长稳定，确保与每次曝光保持一致。对准系统可确保晶片相对于光掩模上的图样精确定位。晶圆通过"对齐网格"、一组十字准线和标记进行扫描。这使机器能够检测和计算晶圆与掩模上的图样之间的任何差异，并迅速做出必要的调整，以确保图样被准确地传递。光刻透镜是紫外线在照射目标基板之前通过的物理成分。它负责提供所需的光刻图样分辨率和准确性。透镜包含一系列聚焦元件，这些元件可以使光线成形。透镜还能够倾斜和旋转，以补偿下面晶片表面产生的任何失真。光学聚焦单元用于确保在整个光刻过程中保持正确的强度和分辨率。它由一台自动对焦机和一台超高功率激光器组成，该机对成像镜头的焦位进行反复监控以确保始终优化，并用于精确修改光刻图桉的形状。最后，晶片处理工具负责从步进器的基板表装卸晶片。它配备了可以抓取和安全定位晶片的机器人手臂，以及可以放置晶片的旋转平台。晶圆处理资产非常精确和高效,确保晶圆安全加载,以便快速开始曝光过程。