二手 ASML XT 850F #9244892 待售

ASML XT 850F是一种晶片步进器，设计用于在制造实验室中创建和检查晶片上的集成电路。步进器使用光学浸泡光刻技术，通过一系列高度精确的运动和光线照射，在晶圆表面上创建图像。它能够生产出在x轴上分辨率高达0.13微米、在y轴上分辨率高达0.20微米的芯片。XT 850F利用专有的高功率激光设备将光刻图样暴露在一系列基板上。该激光器配有多场光学系统，可实现高光照均匀性，提高扫描质量。晶片安装在卡盘上,由高性能的直线电动机驱动级移动。为了提高扫描均匀性，ASML XT 850F步进器包括一个温度控制单元，以保持晶圆在摄氏十分之一度以内。它还具有高度灵敏的高速干涉仪闭环计量机，能够准确快速地检测高度变化。步进器上的成像工具包括自动聚焦和自动曝光资产,以实现卓越的聚焦性能。它还利用高精度步进级、电机驱动、步进级来实现更精确的定位和提高图像质量。在操作方面，XT 850F是为便于使用和可靠性而构建的。除了极高的精确度和重复性外，它还设计了多种安全特性和特殊的报警功能，以防止和检测错位。它还具有长期的工作寿命和免维护操作。总体而言,ASML XT 850F是一种用途广泛且可靠的晶片步进器,旨在在晶片上产生高分辨率、高精度的集成电路。它具有多种功能,包括温度控制模型、自动对焦和自动曝光系统、高功率激光设备和闭环计量系统,以确保卓越的成像性能、准确性和可靠性。