二手 CANNON No210 #9284908 待售

CANNON No210晶片步进器是一种前沿半导体光刻工具，用于集成电路的高精度光刻。该工具配备了扫描仪式掩模对准器，使图样能够完全自动化和可靠地对准基板和光掩模，从而实现快速和准确的光刻处理。设备的扫描仪功能可提供高达1.2nm的分辨率和42x42mm的拍摄区域（在垂直方向X-Y平面）。此外，用户可以为多层应用安装多达6个曝光头，同时配置相机的各种光机元件。CANON No210具有微级扫描功能,可以多种配置操作。单次阶段扫描可以一次对每个图像场进行全模式覆盖，而多场扫描则可以将多个部分的场曝光分开，并允许在每一部分进行更高的曝光，从而提高图像和特征的准确性。晶圆步进器还配备了一系列自动操作的功能。自动曝光控制在曝光过程中不断调整曝光参数,而自动聚焦调整则在整个晶圆场的高度和宽度上保持最佳聚焦。为了确保整个曝光过程的准确性和稳定性,设备还提供自动照明控制和设计规则检查（DRV）校准。总而言之，佳能CANNON No210是一种精密而全面的晶圆步进器，可以对集成电路进行快速准确的曝光。其扫描仪和微型级功能相结合，可实现广泛的曝光和分辨率，而其自动化功能提供可靠、一致的曝光过程。