二手 CANNON No36-3 #9284913 待售

CANNON No36-3是一种自动化晶片步进器，设计用于半导体生产应用中的自动曝光处理。它能够使用来自x轴移动源的高对比度XTHC光进行曝光阵列。晶片步进器具有空气悬架和高分辨率成像设备，以高度明确的步进精度和模式可重复性提高吞吐量。XTHC光源使其能够准确定位晶片以实现最佳处理。具有动态集中功能的全自动功能可实现更大的一致性和全场成像可重复性。除了光强变化之外，它还具有高分辨率图像传感器阵列和Xthc光电源。该系统的准确性是其性能的标志,提供了高分辨率的模式步进。晶片步进器由不锈钢框架构成，包括四个可调刚度阻尼臂，使晶片保持均匀悬挂，防止振动。传动导轨处于Y轴移动方向,Z轴上的配重允许精确控制晶圆对齐状态。No36-3在不同的载荷条件下,在所有三个轴上都使用带有振动计的交叉定格运动轮廓来获取高分辨率图像。图像分析沿X轴进行,每条线最多有16个峰截面。采用散射法测量扫描线方向和晶圆图样的倾斜角。然后,在图像处理过程中使用此数据生成一个重新生成的模煳线模式以进行精确配准。CANNON No36-3配有20位编码器，用于控制晶圆定位和同步X-Y驱动器，以获得最佳吞吐量。步进器还具有自生成程序代码（SPC）和菜单驱动参数控制器,以实现高效操作。自成一体的工艺控制单元根据工艺配方和曝光分辨率提供各种曝光时间。这台机器允许多次曝光和专门操作快门叶片控制。利用其自动调整和校准功能，No36-3确保精确曝光，可以调整以创建所需的模式。该工具还具有± 10 μ m的公差范围，适用于高分辨率晶圆-集成。CANNON No36-3是一种先进的自动化晶片步进器，可以在晶片基板上产生清晰、准确的图样。其最先进的性能和特点使其成为半导体生产应用中高精度曝光处理的理想选择。