二手 CANON 13 #9284912 待售

CANON 13是CANON Inc制造的精密晶圆步进器。它设计用于半导体、光子学、MEMS和IC/MEMS/BIO行业的高精度光刻。该机专为高通量应用而设计，能够在硅、石英、玻璃等基板上产生极高品质的图像。13具有双头设计，配有主光学单元和独立的快门控制单元。主光学单元包含一个频率加倍的KrF准分子激光器，用于薄晶片上的高通量。它还包含两个可调焦距镜头，一个用于光源，另一个用于投影镜头，能够精确控制光强度、光斑大小和焦距。投影透镜是一种三组非球面透镜，设计用于晶圆上的高性能光刻。主光学单元还包含一个曝光级，具有电机驱动和晶圆支撑机构。快门控制单元为激光提供快门速度，允许精确控制曝光时间。它包含快门臂机构和基于时间的快门控制,用于精确的曝光控制。曝光时间可由0.2ms调整为5ms。CANON 13还包含一个X-Y自动转换器，它可以在整个曝光区域进行晶圆扫描。它可以在任何方向上扫描到2000毫米/秒。X-Y自动转换器由高度精确的反馈电动机驱动。它还包含一个X-Y同步控制数据输出电路，允许快门控制单元和自动转台之间的精确同步。13还具有高度精确的对准和对焦控制设备,可确保生成的图像精确无误。它具有高精度的自动对准系统，能够将激光与光掩模精确对准。对焦控制单元的设计是为了确保投影镜头精确聚焦在晶片上。CANON 13是一款先进、高精度的光刻机，为最大精度和吞吐量而设计。它的特点和控制使它能够产生极其精确和高质量的图像。它能够快速扫描大面积区域,同时提供对曝光时间和准确性的精确控制,使其成为那些需要高质量和可靠光刻解决方桉的人的理想选择。