二手 CANON 36-3 #9284914 待售

CANON 36-3晶圆步进器是一种高度自动化和精确的机器，用于生产集成电路。它能够高精度地在半导体晶片上产生电路模式。它使用了一种称为步进和重复光刻的技术，这种技术包括通过一系列步进面膜使晶片暴露于一种光的模式中。36-3专为高生产率而设计，循环时间每步仅6秒。它配备了最先进的视觉系统，可以快速识别错误并确保准确的结果。高度先进的光学系统具有365nm直径的分辨率,因此非常适合对先进光刻工艺中使用的最小节点进行阵列设计。CANON 36-3使用机动多轴级，可以处理直径达8英寸的晶圆。曝光阶段包括6个独立的摩托化轴，允许复杂的多模式对准纳米精度。此外,电动伺服值可提高曝光精度,缩短配方开发时间。36-3 Wafer Stepper带有一个用户友好的图形用户界面（GUI）,它简化了编程并消除了对专门编程知识的需求。可通过内置内存导入和导出自定义配方。机器还包括在线预设，允许晶圆级的精确设置与单个按钮的按下。CANON 36-3通过自动维护和一套高级诊断程序来确保最大正常运行时间,在步进器运行期间检测并报告任何异常。此外,它还包括一个网络选项,能够与网络中的其他计算机连接,从而便于数据交换。综上所述，36-3晶圆步进器是一款具有最先进技术特点的创新机器，是高精度光刻的理想选择。它具有高精度、高速度、易于编程的功能以及自动化的维护和诊断系统。它是任何寻求产生高度精确模式的集成电路生产设施的理想选择。