二手 CANON 420209887 #9308582 待售

CANON 420209887是一种先进的晶圆步进器，用于半导体制图和光刻应用。该装置是佳能精英系列步进器的一部分，为芯片生产提供高效率、精确度。它能够以高分辨率曝光直径达8英寸的晶片。420209887配有照明设备,可提供高达841mJ/cm2的UV能量范围,用于高QE或3 μ m对准。可变纵横比物镜集成到步进器中，提供16nm线/空间和5um接触对准的最大分辨率。这使得机器能够有效地暴露复杂的电路模式，而不会造成图像失真。系统还配备了一个OPC模块，使用AI算法来预测暴露晶圆时的过程变异性。晶片通过自动加载单元加载到机器上以实现快速吞吐量。弹匣最多可容纳150个8英寸晶圆。CANON 420209887设计有先进的空气管理机器，有助于保持工具内部的压力和温度。这样可以确保曝光和蚀刻结果保持一致。资产还具有16nm的最小特征大小，允许更复杂的电路模式。机器还配备了FOUP Auto Change模型，允许用户只需单击一个按钮即可快速更换FOUP包。这有助于减少停机时间并简化流程更改。最后，将最先进的E-Max控制器集成到机器中，为高精度性能提供了完整的用户界面和监控设备。总体而言， 420209887是一种先进的晶圆步进器，专为精度和高效率而设计。它提供了广泛的功能,包括UV能量范围、可变纵横比物镜、自动加载系统、5um接触对准和FOUP Auto Change单元。先进的空气管理机和E-Max控制器进一步提高了性能和精度。