二手 CANON 52 #9284911 待售

CANON 52是CANON Inc.製造的晶圆步进器，用于半导体工业中的光刻用途。这台机器有能力将图像投影到晶片上，放大倍数从5倍到75X倍不等，采用的曝光操作结合了高分辨率光学设备和先进半导体模式发生器的成像原理。该系统具有多种集成特性，保证了光刻工艺的高精度。它有一个位置测量单元（PMS）,它集成了有关电动机、级的位置、运动方向和对准条件的信息,以便在曝光操作中获得更高的精度。该机还包括一个扭曲补偿工具（CCS），它利用水静电级的设计来减少振动，从而实现更高分辨率的成像。52还有一个可以处理一系列数值孔径和波长的曝光设施，以便最大限度地利用光。该资产还包含传感器增强技术（SET）,该技术支持主动自动对齐管理,并根据晶圆特性控制曝光条件。这样可确保在整个生产过程中准确曝光图像。该型号配备了高精度、快速聚焦的自动聚焦设备，以匹配各种晶圆高度。这种自动聚焦系统是一种提供实时湍流补偿的光电机电一体化设计。该装置还有一个干涉仪波前传感器，用于测量和检测晶圆与光学器件之间波前光学失真的任何变化，从而实现精确的曝光操作。CANON 52能够处理范围广泛的晶圆尺寸，从1英寸到8英寸不等，机器容量为每小时1000个晶圆。曝光模式支持步骤、重复和扫描曝光,采用全自动故障检测和纠正工具,旨在防止任何曝光错误。除了这些功能外,52还通过高级模式优化和分析提供了高度的过程理解。这使制造商能够优化晶片并调整曝光参数,而无需执行多次曝光运行。此过程优化功能可提高效率、减少浪费并提高产量。