二手 CANON ES2+ #9272650 待售

CANON ES2+是一种顶级晶圆步进器,旨在提供严格公差和具有挑战性的数据集的精度和准确性。它是一种先进的光学光刻设备，具有多级精密电机和控制系统，可以让用户在整个过程中精确对准晶片，操纵曝光，快速准确地移动晶片。该单元由一个注册/装载站、一个曝光头、三个晶圆操纵专用阶段、一个对准阶段、一个轨道设定标记和一个内置的空气承载阶段组成。ES2+具有超高精度变焦镜头和极快的晶片致动功能。这使得它能够以最短的曝光时间和减少的污染和缺陷水平实现高清成像。机器还能够在曝光过程开始之前检查、识别和排除晶片中的缺陷，从而减少昂贵的曝光返工。CANON ES2+与五英寸和六英寸（152毫米和193毫米）晶圆兼容，能够精确覆盖配准对准。ES2+具有高级过程控制功能。这些包括内置的可编程晶片操作支持、对象识别、光学失真控制、精确的曝光头位置监视器、自动化的过程管理以及曝光评估监视器。这些特性可以精确控制精细的晶圆光刻工艺。CANON ES2+的响应能力允许使用高级特征宽度和曝光策略,从而提高工艺产量并减少废料。ES2+非常用户友好,具有图形用户界面（GUI）和直观的命令集,以便于操作。还包括"自动对焦校准"菜单,允许用户轻松设置工具以进行敏感的对齐操作。CANON ES2+配备了独特的振动资产，保持稳定聚焦，减少过度振动造成的错位，进一步促进了准确性。此外，该车型还配备了电机驱动的衰减器，快速准确地减少曝光。ES2+可以立即使用,因为它是预先安装并准备运行的。此外,由于CANON设备集成平台,它的安装得以简化,从而实现了快速的系统集成。它还受到CANON 24/7支持服务的监控和支持,保证性能和正常运行时间。CANON ES2+为晶圆曝光需求提供了一个极好的解决方桉，以最短的设置时间和最小的麻烦提供高质量的结果。