二手 CANON ES3 #9272653 待售

CANON ES3是一种高精度半导体光刻设备，利用晶圆步进器制造出先进的半导体器件。它设计为能够处理各种工艺要求,并且可以生产45nm至180 nm之间的设备。它的步进技术是一个高吞吐量的系统，提供最大的效率和优越的再现性。佳能ES 3具有对准和曝光模块、晶片级、晶片传输机构和晶片夹紧单元。对准和曝光模块负责分析光束并将其引导到晶圆上所需的位置。晶片级允许晶片的精确步进和定位，以便在曝光前精确对准。晶片传递机构确保晶片在晶片级和暴露区域之间的精确移动。晶片夹紧机确保晶片在光刻过程的每个步骤中的安全和准确定位。ES3利用照明优化来提高曝光精度。其曝光工具由先进的光刻照明资产、激光对准模型和精确的定制镜头组成。照明设备由高功率激光控制，精确对准光束进行曝光。激光使用板载、精确控制的光学器件，以确保曝光精度和均匀性。定制镜头由两个大的独立透镜和两个较小的辅助透镜组成，这些透镜经过精心对准，可以在整个晶片上提供均匀的曝光。ES 3还具有强大的计量系统，能够测量动态范围、焦点深度、线宽和临界尺寸等关键芯片参数。这样可确保以快速结帐速度进行精确测量,从而为客户提供详细、准确的曝光和光刻结果。CANON ES3晶圆步进器是一个强大的单元，提供准确、可靠和高性能的光刻结果。它的特点使得它适合从简单的模具到复杂的高端芯片设计的应用。其高吞吐量和精确的光学元件确保了最高水平的准确性和性能。