二手 CANON ES5 #9227408 待售

CANON ES5
製造商
CANON
模型
ES5
ID: 9227408
晶圆大小: 8"
DUV Scanner, 8".
CANON ES5是一种用于半导体制造过程的高规格晶圆步进器。它旨在使晶片的高精度和高通量曝光处理成为可能,并能够实现亚微米晶片极高精度的扫描曝光处理。CANON ES-5使用空间精度为0.047微米(设备总精度等于或小于3.5 nm),曝光精度为0.25 nm的500毫米平方场。它配备了独特的扫描系统,即使在处理各种形状的印刷电路板时也能提高精度。ES5采用一种超高速晶片处理装置,能够在一冲程内处理多达48个晶片而不会泄漏。这使得晶圆能够高速、高精度地曝光。ES-5具有M12电动衍射式自动级,在高速扫描模式下提供高精度对准和可重复性。此外,采用了电机驱动的自动聚焦机制和全重迭扫描模式,以确保晶圆的高质量曝光。步进器中还内置了图像处理机,用于纠正图像缺陷,减少整体曝光时间。此外,CANON ES5将高精度、高速的标线级与层压玻璃基板相结合,使其成为广泛的薄膜器件的合适选择。这台机器的另一个特点是其先进的控制工具,它提供了稳定准确的定位。步进器还结合了先进的专有光学资产,它使用透镜和反射镜的组合,以减少光学失真和最大限度地减少耀斑。这使得高质量的图像具有卓越的图像分辨率和高对比度。最后,佳能ES-5还具有真空模型和小型晶片的集成插座,便于安装和装载。步进器还提供了一系列自动加载和卸载功能,可确保晶圆处理保持在最低限度。总而言之,ES5是一个非常可靠和高效的步进器,专为晶圆的最佳SEMI-stANDARD曝光处理和精确定位而设计。它可以实现高精度的对准和曝光精度,同时减少整体曝光时间。这使制造商能够生产高质量和精确的产品,这些产品可用于各种应用。
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