二手 CANON EX4 #9247920 待售

CANON EX4是一种最先进的晶圆步进器，被设计为精密光刻和材料分析中的下一代步进器解决方桉。EX4是一种全场扫描步进器,能够在25mm到300 mm之间进行曝光。步进器利用远心光学元件增强了精度对准，并扩展了聚焦自动化，确保了卓越的生产效率和可重复性。这些特性与CANON CSPI （Common Stepper Precision Initiative）相结合,可实现0.05 µm （20 nm）的最大覆盖精度。CANON EX4的最大分辨率为0.4 µm,在低放大倍率下可在8 μ m或高分辨率放大倍率下单次进行多达3次曝光。步进器还配备了双板放置设备，允许手动和自动操作，允许用户以地图和图像格式调整和显示板图样，以提高效率和准确性。EX4拥有令人印象深刻的光学系统,可提供高达12 µm的深度聚焦,从而提供更快、更精确的曝光场。此外,步进器的力刷新单元设计用于检测曝光中的任何错误,并在整个磁场上快速校正调整z轴。机器还消除杂光干扰,确保精确成像.CANON EX4易于维护,对人员和产品具有卓越的安全措施。与CANON Layout Manager软件包完全集成,用户还可以访问10,000多个部件可配置的配方和库,以实现最佳的曝光控制和可重复性,还可以访问一个板载机器人处理程序,以便于主板处理。归根结底，EX4是理想的晶片步进对于需要更高的精度和平稳操作的工厂和大学。凭借最新的晶圆扫描解决方桉和无故障操作，佳能EX4是控制、精密光刻和材料分析的完美工具。