二手 CANON EX4 #9356495 待售

CANON EX4是日本成像和光学产品公司CANON, Inc.制造的高性能晶圆步进器。它是一种"先进"的曝光仪器，能够进行先进的音调控制、分辨率、特征大小的可重复性和卓越的配准精度。EX4用于在半导体、微电子和其他行业的晶圆和其他平面基板上打印高分辨率图像。CANON EX4能够打印低至0.5微米、高度精确、小于1微米且可重复性的图像。它具有广泛的曝光纬度和高达八级的音调控制。曝光头还有一个双角度照明设备，可以提高打印图像的分辨率和对比度。曝光系统采用最新的模式识别技术设计，允许单位快速检测模式并调整曝光参数，以提供一致的结果。EX4的设计考虑了安全性和人体工程学。它有一个独特的加载机器，使晶片加载速度快，容易和安全。该工具具有监控资产，能够在暴露前检查表面的颗粒、划痕和碎屑。它还配备了有助于防止晶片静电损坏的防静电模型。此外，它有一个刚性的机械臂，以帮助减少振动和提供精确控制暴露过程。佳能EX4还提供各种自动化数据分析工具、成像选项和其他功能。这些选项包括集成配方界面、自动工具对齐功能、优化的曝光参数设置以及用于监视和控制的远程访问设备。它还有一个集成的自动缺陷审查系统，有助于识别图像中存在缺陷的区域。总体而言，EX4是一种先进的晶片步进器，用于在晶片和其他平面基板上打印高分辨率图像。它的特点，如双角照明和防静电系统，使它比传统步进一个边缘。它的自动化数据分析、成像选项和远程控制单元使其成为半导体和微电子行业的宝贵工具。