二手 CANON EX5 #293778968 待售

CANON EX5是CANON Inc制造的旗舰晶圆步进器。它于1986年开发，已成为精密光刻行业标准30多年。EX5专为芯片制造等大批量工业应用而设计,能够产生精确度更高的微型和复杂图像。CANON EX5是一种步进重复设备,能够从直径最大为10英寸的主晶片生成图像。它配备了五轴运动能力，允许对母片和目标晶片进行完全的位置控制和精确的对准。该系统还具有独特的模具对准单元，可以将单个模具精确定位在目标晶片上。EX5具有很高的重复性和位置准确性，能够产生极高层次的细节和均匀性的图像。CANON EX5利用CANON专利的正弦光栅，这是一种先进的光刻技术，能够比标准接触方法更精细的分辨率。这是通过在晶圆上放置激光束的正弦阵列，产生暴露晶圆上特定区域的干涉图样来完成的。通过控制透镜与其中心之间的角度和角度，可以在晶片上创建或修改不同的结构。EX5还具有独特的基板加热技术，它允许主晶片和目标晶片的热均匀性。这样可以防止由温度变化引起的不均匀模式扩散和图像失真。此外,CANON EX5还提供了增强的自动对焦和基于自动对焦的晶片步进器,使机器能够识别晶片的快速变化并快速相应地调整焦点。最后,EX5在模具方面具有高度的多功能性,因为它可以与可互换的口罩和镜片以及定制的镜片一起使用。这允许在图样和光刻选项方面进行更高程度的定制。所有这些特性，加上其经济实惠，使佳能EX5成为任何工业应用的理想光刻解决方桉。