二手 CANON EX6 #9352053 待售

CANON EX6是一种用于半导体芯片制造过程的晶圆步进器。它用于在晶圆上产生最一致的详细和复杂的模式。它配备了一个成像镜，用于将掩模的图像投射到晶圆上。反射镜可以同时在两个轴上倾斜和聚焦,从而获得最高的精度放置精度和图像失真校正。EX6还配备了新的高分辨率扩展器（HRRE）。这项技术为晶圆整个活动区域上的细线和恒星聚焦提供了极其精确和尖锐的成像特性。HRRE配备了8个透镜和4个反射镜，将光线从掩模引导到晶圆上，并提供<0.08 μ m的线条和表面的轮廓显示。此外,CANON EX6还具有非凡的3维加速/减速系统,可在保持准确性的同时缩短定位时间,并提高生产效率。EX6旨在通过合并数字图像系统（DIS）来促进设备扩展。该系统采用图像传感器阵列,并采用反馈技术来提供优化模式分辨率的选项。DIS允许调整级运动减速速度和扫描速度,以将晶片精确定位到掩模上。CANON EX6除了具有这些显着的特性外,还采用超纯水射流技术,在晶片处于步进状态时对晶片进行清洁,从而减少晶片的颗粒损坏和颗粒污染。EX6还配备了高级诊断功能,以便用户自定义对齐和迭加参数。其直观、用户友好的图形界面使用户能够分析步进操作数据，优化操作性能。CANON EX6能够实现半导体制造所必需的最高精确度、精确度和质量的成像,是半导体芯片制造领域的理想选择。