二手 CANON FPA 1550 MARK IV-W #293589762 待售
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ID: 293589762
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
i-Line stepper, 6"
HP1000 PC
Jeida standard wafer
Wafer type: OF
Reticle, 5":
QUARTZ Material type
Changer type: CANON Changer type-2
Case type: CANON Changer type-1
Optical system:
UL21-LS Lenz type
Magnification: 1/5
Field size: 22 mm
Illumination system:
Light source: Ultra-high pressure mercury lamp, 2.0 kW
Light control: Estimate exposure total
Masking function: (4) Independent blades
Wafer loader:
Type-1 / Type-2
Alignment light / HeNe Laser / HeCD Laser
Wafer alignment:
Type-1 / Type-2
System / HeNe Laser image processing / HeCD Laser sensor
Mode / AGA
Reticle alignment:
Type-1 / Type-2
Alignment light / g-Line
System / g-Line, TV image processing
XY Stage:
Type-2: Rolling around type
Automatic focus:
Type-2: LED PSD OPTF, 5-Channels
Wafer leveling:
Type-2: 3 Points drive global / Die by die leveling system
Mechanical pre alignment:
Type-2: Peripheral noncontact system
TV Pre alignment:
Type-1 / Type-2
System / OFF-Axis TV Image system
Carrier / (2) Loaders/(2) Unloaders
Chamber:
Type: TBW-CD-30W
Cooling system: Refrigeration unit／Heater control
Set temperature:
Booth：21℃
Stage／Lenz: 23°C
Reticle feeder: (14) Store reticles
CCD Camera
Inline: Stand alone
Signal tower
HeNe Laser missing
1995 vintage.
CANON FPA 1550 MARK IV-W是一种最先进的晶圆步进器，利用先进的成像技术精确地制造精密结构和元件到微米级。此集成设备提供了一系列复杂的功能,如高NA步进扫描光刻、亚微米对准精度、增量级移动、扩展的分辨率范围和扩展的最小特征大小。它还采用模块化架构设计，可以扩展以适应特定需求。CANON FPA 1550 MARK IVW提供高NA步进扫描光刻技术,用于制造复杂结构和组件的定制布局。此功能能够快速生成精确且可重复的图像,并最大程度地加速7Gs。系统的高NA和连续扫描操作提供超细分辨率到亚微米级，扩展分辨率范围从6.5到25 nm。FPA-1550 MARK IV-W的对准精度为1微米,已集成到CANON Micromage高级对准单元中。这是由一个高效使用分段照明和准直区域检测的组合供电。这使得包括硅、玻璃和石英在内的各种基材材料能够精确对齐和加工。整机具有模块化架构，使其最多可配备10个步进级，每个级的最大分辨率为256 nm。组件具有板载内存,用于存储位置信息和特征数据,以确保组件的准确放置。此功能可减少潜在的错误并加快生产速度。CANON FPA-1550 MARK IV-W可以容纳各种基板，失真最小，扩大最小特征尺寸为0.2微米。它配备了佳能MicroMirror隔振和CASA（恒定加速度应力吸收器）滤波器，有效降低了振动和图像失真的风险。总体而言，FPA 1550 MARK IV-W是一种最先进的步进器，能够以亚微米分辨率和精确度产生精确的结构和组件。它还具有先进的对齐工具、模块化体系结构和隔振功能,以确保在最小时间跨度内获得最佳效果。
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