二手 CANON FPA 1550 MARK IV-W #9033673 待售

CANON FPA 1550 MARK IV-W，晶圆步进器，是一种全自动光刻设备，设计用于在易碎基板上产生高精度特征。这台机器能够达到小至25 nm线宽的特征尺寸，允许生产半导体集成电路、MEMS器件和其他类似产品。CANON FPA 1550 MARK IVW采用先进的光学系统和独特的双源系统来产生规则和反向图像，从而提高曝光完整性。利用静电和磁场，能够以高度精确的方式控制基板的位置和方向。这进一步结合了高强度曝光光源和一系列具有广泛数值光圈的透镜。此单元还包括一台利用两步流程的自动对齐机。它利用粗比对扫描工具快速确定正确的比对，还包括精细比对扫描资产，用于精细调整晶片和基板的比对。这允许图像在基板上的精确配准。FPA-1550 MARK IV-W还配备了高级阶段加热和冷却模型，可确保精确调节基板温度。这保证了光刻胶即使在大温度变化下的最佳性能。总体而言，FPA 1550 MARK IV-W是一种高度先进的光刻设备，能够在25 nm或更小的特征尺寸的易碎基板上产生高精度特征。通过使用双源系统、自动对准扫描以及阶段加热和冷却单元,这台机器可以获得始终如一的高质量结果。