二手 CANON FPA 1550 MARK IV-W #9196317 待售

CANON FPA 1550 MARK IV-W是一种晶圆步进器，用于半导体生产过程中，将光刻图样精确转移到晶圆上。该机能够加工直径达24厘米的基板，可达到2.5 μ m的对准精度。它采用了XY级、炮塔和Z型直线级的全机化对准设备，以确保精确的运动控制和高处理速度。步进器使用水银弧灯将板材投射到波长为193 nm的晶片上。该机配备了激光干涉图样对齐器（LIPA）系统，测量板母片和晶片之间的空间关系，并允许快速的曝光时间调整。此外，步进器利用模模曝光来确保平版印刷图样的必要精度。CANON FPA 1550 MARK IVW使用车载可编程设备控制重复率和曝光条件。它还可以选择使用外部计算机来简化复杂的模式生成操作。此外，该机器还配备了三维激光干涉仪传感器，能够实时反馈和校正晶圆运动。为了安全起见,步进器具有紧急停止按钮,可用于立即切断设备电源并启动安全关机顺序。此外,该机器还能够通过光学光栅传感器检测晶片加载错误。总体而言，FPA-1550 MARK IV-W是用于半导体生产中复杂光刻加工的先进而可靠的步进器。它的机动化对准工具和车载可编程设备能够快速反应和调整，确保高标准的准确性和效率。此外，它还设有许多安全机制，以改进对人员和设备的业务控制和保护。