二手 CANON FPA 2000 i1 #293606920 待售

CANON FPA 2000 i1是CANON Inc制造的晶圆步进器。它是一种用于铸造厂和半导体制造半导体器件的高性能步进器。CANON FPA2000-I1具有大尺寸（2,000毫米）的舞台和高精度的多曝光模式机构。它配备了两轴电机驱动的线性级，在每个轴上提供5000毫米的大扫描范围。它可以通过一个通道曝光一个4英寸或5英寸的晶圆，此外，FPA-2000I1拥有先进的步进控制系统，使其能够精确准确地定位多次曝光，从而为0.25 μ m的工艺节点及以上创建复杂的模式。FPA 2000 i1能够在超过80 wph的高通量下实现三线性同步模式。步进器配备了几种显示模式，允许用户在它们之间快速切换，使其成为工程测试快速评估过程或测试特定曝光技术影响的理想选择。而且，FPA-2000 I1配备了4路输入/输出信号系统，可以连接到各种外部设备和控制器。CANON FPA 2000 I1还具有高分辨率、快速模式和剂量控制功能,使其能够在最小化模式失真的同时实现最佳模式性能。步进器有一个色度测量系统，通过比较图样和参考图像来确保准确的颜色表示。此外,FPA2000-I1还采用模块化结构,便于更换和维修零件,以实现可维护性。总体而言,FPA-2000 I 1是一种功能强大且可靠的晶圆步进器,可提供高吞吐量的精密阵列设计功能。其精确定位多次曝光的能力以及与外部器件和控制器的轻松连接能力，使其成为半导体器件制造的理想选择。