二手 CANON FPA 2000 i1 #9033674 待售

CANON FPA 2000 i1是2005年发布的晶圆步进器，设计用于高精度应用。它是一种具有高生产率和图像均匀性的步进扫描光刻曝光设备。用于先进的半导体光刻工艺。将电光技术应用到成功的FPA-2000平台上，产生了CANON FPA2000-I1和FPA-2000 i3两种生产模式。FPA-2000I1模型具有减少场外散光（ROA）的照明系统和对称对齐机（SAS）的对齐单元,而FPA-2000 i3模型包括同步双模式发生器（SDPG）。CANON FPA-2000 I1晶片步进器由五个主要组件组成：照明工具、投影光学资产、对准模型、标线工作设备和晶片级系统。照明单元由激光、光陷阱以及折射和/或反射光学元件组合而成，用来产生光并将其引导到标线上。投影光学机器包括一个非球面透镜和其他组件，用于将图像从标线投影到晶圆上。对准工具由线性位移传感器组成，可以检测标线的X、Y和Theta位置。标线工作资产包括一个标线更换器、一个标线库和一个热交换器。晶片级模型由扫描仪和X-Y级组成，用于在X、Y和Z方向移动晶片。FPA-2000 I 1的磁场尺寸为4英寸（100毫米）,射门尺寸可达4英寸（25.6毫米）。它在投篮到投篮的覆盖层（<3 µm投篮到投篮）和30nm线宽方面达到了很高的精度。步进器还具有可重复曝光的能力，无需人工干预即可进行多达300万次的晶圆运行。总体而言，CANON FPA-2000 I1晶圆步进器是一种用于半导体加工的可靠、高精度的光刻曝光设备。它提供高效的吞吐量、高精度和可重复的过程可靠性。是先进半导体工艺的理想系统。