二手 CANON FPA 2000 i1 #9298396 待售

CANON FPA 2000 i1是一种晶圆步进器，在场应用为1：1，数值孔径为0.50，工作距离为2.6mm。该产品旨在精确加工各种半导体晶片。它用途广泛，可以处理从150 nm到6.5微米的各种半导体场应用。佳能FPA2000-I1为加工各种半导体晶片提供了高精度和分辨率。该设备是双模的,允许单个和多个晶圆处理。单晶片采用30 Hz的工艺速率，处理多个晶片时每小时最多800个晶片。FPA-2000I1利用激光对准来确保图样和标线放置的准确性。FPA2000-I1有一个保持19 ± 4°C温度和45 ~ 65%相对湿度的大气控制系统。它配备了1.0至12.5 x的直流放大倍率,以及0.3 nm的XY分辨率,非常适合任何精度和精度至关重要的应用。FPA-2000 I1还具有EPI/离子植入能力、空气轴承光束扫描、400倍放大时1%的低总谐波失真、控制杂光的离轴照明和紫外线光纤操作等特点。晶片步进器配备了四步对准，在处理晶片时保证了高度的精度。此外，这台机器设计用于洁净环境，能够进行化学湿蚀刻。它有一个内置的自动楔形机，以减少准备晶片处理所需的时间。CANON FPA-2000 I 1具有用于发出警告通知的LED条显示屏和用户友好的IC程序员。最后，FPA 2000 I1是一种光学晶片步进器，设计用于处理广泛的半导体晶片应用。它具有很高的精度和分辨率、双模操作、激光对准、EPI/离子植入能力等特点。此外,其大气控制系统、四步对准、LED条形显示屏和用户友好的IC程序员使该设备非常适合清洁环境。