二手 CANON FPA 2000 i1 #9313447 待售

CANON FPA 2000 i1是一种晶圆步进器，用于半导体工业中，用于精细的成型和制造集成电路。它是一个4束投影步进器，最大曝光面积为20mmx10mm。佳能FPA2000-I1内置多波长照明设备，利用ArF（193nm）和KrF（248nm）准分子激光器，以及紫外线激光器。这使得晶片步进器可以优化曝光时间，并实现不到1微米的高分辨率进行精细成像。曝光头还具有6轴级,最大速度为10mm/sec,精度为0.1mm,确保晶片的精确对准和定位,以实现最佳的阵列设计。FPA-2000I1采用模块化1帧光学系统设计,可简单地集成到其他系统（如计量或检查工具）中。它还提供高分辨率、高动态范围和非常低的失真。该单元使用最大NA为0.4和可调Z聚焦的可变数值孔径（NA）物镜以及数字对准模块。这种功能组合允许曝光校正,并实现高精度成像。CANON FPA-2000 I 1有一个内置的电动显微镜，可用于评估晶圆级的图样，以及测量图样的线宽或临界尺寸。步进器还可以配备一个加固的安全机器，设计用来保护人员免受激光辐射。FPA-2000 I 1具有易于操作的界面,支持手动操作和基于配方的操作,可使用拖放接口进行编程。该工具还提供实时数据监视、记录和分析。总体而言,FPA2000-I1是一个功能强大且精确的晶圆步进器,具有多种功能和紧凑的设计。它提供了出色的工艺控制，使高精度集成电路的设计和生产成为可能。