二手 CANON FPA 2000 i1 #9396114 待售

CANON FPA 2000 i1是利用i线的晶圆步进器，是CANON系列最具成本效益的主力。FPA 2000具有高分辨率和准确性,允许精确处理时间。i1型包括先进的扫描仪设备和CANON专有光学器件，用于改进边缘清晰度。随着激光对准和背光，它的稳定性水平保持非常低，允许最高水平的成功。它还集成了获得CANON专利的ScanShift System,这有助于在步骤和重复应用程序中改进特征注册。这些特性使得FPA 2000可以产生各种各样的设备类型，包括高密度互连系统、高压CMOS、非易失性内存和MEMS设备。其物镜和光圈配置为对最小特征成像，最小线宽为0.18微米，对准精度<5 nm。佳能FPA2000-I1还具有改进的真空装置，有助于减少颗粒污染和进一步提高分辨率。其他值得注意的功能包括获得专利的VLE Exposure Machine、完全集成的非接触式计量概述工具、高级车载过程控制以及自动对齐资产。VLE模型不仅提供了很高的准确性和可重复性，而且还被证明可以消除在不同基板上可能出现的光刻的全面变化。FPA 2000包括一个界面模块和一个触摸屏界面,用户可以轻松定制其曝光配方。它的高级控制屏幕允许用户访问与其流程相关的所有信息，并控制各种参数，包括：聚焦位置、磁场展平、曝光能量和光学元件的位置。此外，界面模块还允许用户将多个配方绑定到一起进行快速处理。FPA-2000I1的精确度使其成为满足先进生产需求的绝佳选择。它是一系列应用的理想解决方桉,例如制造高密度和MEMS设备。凭借其稳定的领域，它能够应对最具挑战性的产品，而且也非常可靠。