二手 CANON FPA 2500 i2 #293608643 待售

CANON FPA 2500 i2是为生产环境设计的晶圆步进器。它利用二维对齐方法，在晶圆表面上准确地创造出高产率的精确图样。这台最先进的机器最大分辨率为0.3um，现场尺寸为9.6mm x 9.6mm。CANON FPA-2500I2的主要应用是在精细的制图任务以及对多种材料进行光刻工作，包括金属、GaAs和SOI。FPA-2500 I2配备了专有的佳能投影光学设备，包括埃德蒙光学柔性放大系统。此单元提供高分辨率成像功能,并允许快速、可重复的对准和曝光。投影光学机器操作在250毫米萤石透镜和LaB6阴极电源。FPA 2500 i2具有用于掩码对齐的高分辨率成像工具。该资产利用四个CCD摄像机来确定遮罩图桉在晶圆表面上的精确位置。可以快速校准调整校准模型，使掩模图桉与晶片精确对齐。此外,成像设备具有0.24秒的快速窗口捕获时间,并提高了8M像素分辨率。为了提高可靠性，FPA 2500 I2有一个胶片重量传感器系统，可以自动调整以校正不同的胶片重量。它还有一个自动清洗装置，减少循环时间和防止灰尘污染光学器件。CANON FPA-2500 I2是一种强大而高效的晶圆步进器。其Edmund Optics Flexible Magnification Machine可以提高产量，而其薄膜重量传感器工具、自动清洗资产和先进的对准模型则确保精确和可重复的图样结果。这种晶片步进器是一种高度可靠和高效的工具，用于先进的光刻和精细的图样设计应用。