二手 CANON FPA 2500 i2 #293807999 待售
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ID: 293807999
优质的: 1994
Stepper
Control rack
Console rack
Reticle charger
Wafer loader
1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2是一种高度精确的晶圆步进器。它是专门为满足高精度晶片生产的要求而设计的。该晶片步进器具有0.2 μ m的惊人分辨率,使其能够以最小的边缘损耗将图样精确传输到晶片上。此外,CANON FPA-2500I2的最大曝光面积为直径9英寸,允许生产具有复杂几何形状的大量晶圆。FPA-2500 I2采用了多种先进技术,以确保将图样传输到晶片时的准确性和可靠性。这些技术包括通过调整光束的曝光角度来防止狭缝曝光错位的狭缝算法控制、优化曝光分布的扫描仪控制算法以及能够曝光小直径图桉和大直径图桉的映射表图桉曝光。所有这些技术共同努力，以确保高质量、可重复的模式转让。除了晶圆步进模式传输的先进技术外，CANON FPA 2500 I 2还具有许多使其高度用户友好的功能。这些功能包括类似Windows的图形用户界面、易于操作的高分辨率液晶面板以及用于曝光单元快速精确对准和定位的自动对准系统。这个曝光单元容纳了一个Quartz灯冷镜，它使用涂层来将热曝光最小化，抑制曝光单元的变形，使图桉打印不会因为生产过程中的热变形而失真。佳能FPA-2500 I2还拥有令人印象深刻的吞吐量，这要归功于其快速、可重复的模式传输。这种晶片步进器能够生产吞吐量高达每小时6,000 （300mm）晶片的晶片。这种吞吐量速率,加上其强大而精确的技术,使FPA-2500 I 2成为大容量晶圆生产的理想选择。总之,FPA-2500I2是一个高度先进和高度可靠的晶圆步进器,具有多种技术以确保最高质量的模式传输和吞吐量速率。其用户友好的特性和快速的生产速度使其成为大批量晶圆生产的理想选择。
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