二手 CANON FPA 2500 i2 #9033675 待售

CANON FPA 2500 i2晶圆步进器是为高精度半导体制造而设计的下一代光刻设备。该系统配备了可控范围大的高精度执行器、具有先进光学元件的投影单元以及优越的照明机器。CANON FPA-2500I2设计用于从亚微米到几百微米宽的先进光刻工艺，可重复精度低至0.5 nm。该工具采用双压力空气轴承致动器，利用气压以亚微米步长精确移动晶片。由于它的可控范围很大，它可以用来处理各种各样的，宽达几百微米的图样，非常寻求可重复性。该资产具有由独特的先进光学系统组成的投影模型，提高了光刻产品的精度。此外,它还采用了先进的照明设备,利用具有先进相移和点亮掩模结构的环形狭缝,可提高景深和图像分辨率。此外,FPA-2500 I2晶圆步进器还包括许多安全功能。它使用自动扫描内光学力监视系统,防止在曝光步骤中表面损坏或破坏硅层,在成像开始之前检测压力的任何变化。晶圆步进器设有精密观测单元，可以控制机器温度，实时监控缺陷。总体而言，FPA-2500 I2是一个优越的晶圆步进设计用于精密光刻应用，如半导体制造。它利用双压力执行器和优越的光学元件，保证了纳米级的详细、可重复的精度。此外，它的安全特性确保操作员能够享受一个简单可靠的操作与质量的结果。