二手 CANON FPA 2500 i2 #9298398 待售
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ID: 9298398
晶圆大小: 6"
优质的: 1994
Stepper, 6"
Power: 18.7 kVA
Reticle size: 6", Canon STD
Wafer feeder: Type-L
PA Unit: 6", O.F Type
Chamber: TBW-CD60
Illuminator: FPA-2500 i line
A Scope: i-line, TTL
T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R)
Support mount: Servo passive damper
Lamp house: 1.5 kW
Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz
1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2是一种先进、半自动化、光学、晶圆步进器，用于研发实验室以及工业环境。这款设备配备了几个令人印象深刻的特点，针对效率和准确性进行了优化。例如，集成反射超高NA （Ref-SHNA）光学设计旨在产生比传统光刻系统更高的数值孔径。这样可以产生较小的特征尺寸,从而提供更高的分辨率和更高的精度。此外,此设计有助于最大限度地减少衍射、散射和噪声,从而提高整体性能。该机装有激光划线器，具有用于减少划线操作过程中的振动误差的减振系统。这样可以减少散焦和污染,同时提高管线的精度。激光剪刀还具有先进的设计，包括切割和闪烁的三个维度，提供更大的控制和精度。CANON FPA-2500I2能够在直径达200毫米的大面积上成像,该机器还能够在不同方向上成像,如向前、向后和旋转,以实现精确对齐。该单元配备了自动晶圆处理机，实现了精度和精确度的高速工艺。此外,此工具还提供了一个简化的用户界面和触摸屏显示屏,便于操作,以及针对特定模式进行微调的定制配方。此外，还为阳性（PR）或阴性（NR）抗药剂提供了便利，并提供了实施各种液体的能力。FPA-2500 I2为各种研究、开发和生产应用提供了极为通用的光刻资产。凭借其先进的功能和令人印象深刻的功能,此模型是创建高收益率的高精度阵列的完美工具。
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