二手 CANON FPA 2500 i2 #9298425 待售
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ID: 9298425
晶圆大小: 6"
优质的: 1994
Stepper, 6", parts system
Power: 18.7 kVA
Reticle size: 6", CANON STD
Wafer feeder: Type-L
PA Unit: 6", O.F Type
Chamber: TBW-CD60
Illuminator: FPA-2500 i line
A Scope: i-line, TTL
T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R)
Support mount: Servo passive damper 4
Lamp house: 1.5 kW
Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz
1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2晶片步进器是一种精密器件,主要用于集成电路的制造。具体来说,它是一种光学步进器,这意味着它使用光来将图样成像到标线台上,以便打印到晶圆或其他基板上。这种步进器使用高功率的200瓦YAG激光器以高达0.5 µm的分辨率对其标线进行制图,从而可以对其源图样进行高度精确的成像。为确保精度,它有一个定位系统,具有电动Z-Axis,用于移动标线并与晶片正确对齐。该机由金属和复合材料溷合而成,强度巨大,可靠性更高。该设备的光学元件由折射元件、衍射元件和其他高性能元件组成,可实现卓越的成像效果。此外,借助尼康无尘室将光学器件保持在恒定的环境中,该室可清除可能造成成像错误的碎片和污染物。CANON FPA-2500I2与所有DUV/NUV光刻系统兼容。这种晶片步进器具有高精度的控制和精确的成像能力,无论是在硅片、芯片还是类似的基板上打印,都能产生异常复杂的图像。机器有两个串行端口,可用于连接外部控制器,允许处理图像,然后发送到步进器。此外,还包括CD-ROM驱动器和2.4 Gb硬盘驱动器,使用户能够备份和快速加载数据。最后,机器的额定运行温度可达35°C,因此操作员可以在相对温暖的环境中工作而不会影响结果。最后,FPA-2500 I2晶片步进器是一个令人印象深刻的设备.它结合了可靠的硬件和复杂的光学元件,成为制造集成电路和其他精密应用的顶级选择。
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