二手 CANON FPA 2500 i2 #9298434 待售

ID: 9298434
晶圆大小: 6"
优质的: 1994
Stepper, 6", parts system Power: 18.7 kVA Reticle size: 6", CANON STD Wafer feeder: Type-L PA Unit: 6", O.F Type Chamber: TBW-CD60 Illuminator: FPA-2500 i line A Scope: i-line, TTL T/Z-Tilt Unit: 3 (L,M,R) Support mount: Servo passive damper 4 Lamp house: 1.5 kW Electrical: 3Ø, AC 200 V, 50/60 Hz 1994 vintage.
CANON FPA 2500 i2是为先进半导体生产而设计的高性能晶圆步进器。这台机器有助于生产线宽更细、产量更高、输出压力敏感的设备。该设备背后的专有技术基于CANON久经考验的iTRACT(图像传输、注册和控制技术),它为用户提供了出色的阵列精度和可重复性。CANON FPA-2500I2具有广泛的曝光模式,包括常规的全场步进、重复扫描(RS)步进和广域扫描(WFS)步进。该系统的RS模式允许用户同时处理晶片的暴露和未暴露区域,协助生产复杂的设备结构。该单元的世界粮食首脑会议模式在处理各种迭加阶段时提供了灵活性,与传统步进系统相比显着提高了吞吐量。FPA-2500 I2还配备了剥离曝光模式(PEM),允许用户高精度控制多层迭加。这台机器拥有2.5 x 2.5 µm的imaging_field_area,用户可以根据每个PE模式层调整光束大小。CANON FPA-2500 I2还为用户提供了调整曝光时间和光线强度的能力。CANON FPA-2500 I2的多功能性和性能使其非常适合先进的电路制造。此工具为用户提供了出色的步进精度,使他们能够使用具有挑战性的结构并降低与掩模制造相关的成本。该资产还为用户提供了广泛的曝光模式,使他们能够快速高效地工作。FPA-2500I2是生产半导体器件的绝佳工具。
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