二手 CANON FPA 2500 i2 #9298440 待售

CANON FPA 2500 i2是为高通量晶圆生产而设计的高端步进重复晶圆步进器。它能够处理直径从150 mm到450mm的晶片,提供前所未有的精度、可重复性和吞吐量。它快速的扫描时间使其成为半导体工业中使用的底物的理想选择，同时也是快速原型制作和大批量生产的绝佳选择。佳能FPA-2500I2晶片步进器利用专用聚焦离子束（FIB）设备将每个晶片精确放置在参考平面上。集成的高分辨率成像系统进一步有助于确保每个晶片的精确放置。为确保精度和可重复性,FPA-2500 I2配备了由两台电动机组成的级驱动单元,用于将晶片定位在X轴和Y轴上。此外,该机器的设计可接受60至160°C的晶圆温度,从而允许沉积和加工温度适合各种应用。光学成像工具由一个10倍的微距物镜和两个平面（远心）透镜组成，它们支持一个独特的传感器，像素大小为20 μ m。这提供了每个晶片边缘的精确可视化，用于检测和纠正错位。这样可以确保晶片在拍摄和随后释放晶片时具有良好的晶片形态和边缘完整性。FPA-2500 I 2的其他功能包括优化的激光位移监视器、两级冷却设备和集成的Dewar法兰,方便晶圆处理程序连接。FPA 2500 I 2也被构建为能够一次处理最多三层晶片，最大负载容量约为500公斤（7.5吨）。FPA 2500 i2是一种高级晶圆步进器，旨在满足最苛刻的生产应用的需求。其高吞吐量和精确度使其适合高生产运行，而其先进的功能集和稳健的设计使其成为极端制造条件下晶圆生产的理想选择。CANON FPA-2500 I2具有基于FIB的晶圆放置、高分辨率成像功能和灵活的温度范围,是任何生产设置的重要工具。