二手 CANON FPA 2500 i2 #9314257 待售
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CANON FPA 2500 i2是用于制造半导体器件的晶圆步进器。CANON前步进器的下一代型号FPA 2500i, CANON FPA-2500I2是一种步进重复工具,旨在在硅片表面上绘制图样。使用193-nm光掩模时,此工具可达到高达3微米以下的分辨率水平。该机配备了Elect La Rival Multi Dynamic Focus Aiming设备和Maximum Efficiency Catadioptric（ME2）镜头两个先进的光学镜头。La Rival系统的设计提供了卓越的迭加精度，并且能够在整个曝光范围内保持其准确性，而不仅仅是一个区域，使得更大的标线可以使用广泛的镜头。ME2透镜是一种功能强大的设备,与以前的系列透镜相比,它提供了降低像差、提高分辨率和降低振动灵敏度的组合。FPA-2500 I2还集成了创新和高度可靠的光刻特性。其中包括基于CANON专有技术称为"深度监测"的高速散焦检测装置，协助晶圆光刻工艺的规格精确的聚焦机，以及为确保超精确光刻对准而设计的高精度阶段定位装置。CANON FPA 2500 I 2还可以提供整个曝光场的精湛均匀性。CANON新的"i-Uniformity"技术实现了这一点,该技术可逐步监控流程,以提供高度可重复、高精度的成像。此外,CANON FPA-2500 I2不需要在批次之间进行校准,使其成为更可靠、更高效的工具,并确保更高的产量。FPA-2500 I 2还旨在通过提高清洁度和提供多种沉积选项来缩短周期时间。所有这些特点和优势使得FPA 2500 I 2成为了一个出色的工具，以生产具有挑战性的半导体器件。
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