二手 CANON FPA 2500 i2 #9384740 待售

CANON FPA 2500 i2
ID: 9384740
Stepper Process: Photolitho.
CANON FPA 2500 i2是用于高端半导体加工的晶圆步进器。它是佳能公司为生产复杂集成电路而开发的一款顶级机型,受到微芯片制造商的高度追捧。该设备的内置步进和重复对准系统能够蚀刻2.5微米的微小特征。它还具有自动晶片对准单元和高精度步进级,用于晶片在加工过程中的精确运动。本机利用两个光头,提供多个成像平面同时对准和监测。这使得光刻晶片的对准和定位具有很高的精度和重复性。晶圆步进器与CANON的专有成像技术(如激光捕获方法(LCM))集成在一起,旨在最大限度地减少生产过程中可能造成缺陷和错位的因素。它还具有一个独特的"自动开关"功能,该功能在暴露遮罩层和将晶片暴露于适当的波长以进行蚀刻层图样之间自动切换,无需任何用户干预。该工具还配备了激光监视器资产和反射放大和减少模型,允许更广泛的曝光控制。这确保了即使是最复杂的电路的高质量成像。CANON FPA-2500I2还具有多向双区域扫描控制阶段。这有助于确保基板的精确对准,而不会产生抖动或振动,并提高吞吐量以提高生产效率。该设备还支持广泛的材料,包括石英、玻璃和其他用于制造复杂集成电路的专用基板,能够对双面晶片进行复杂的曝光和蚀刻。该系统还具有内置真空装置,有助于减少晶片加工过程中的气体污染,从而获得更可靠的光洁度。总体而言,FPA-2500 I2晶片步进器是高端集成电路制造的绝佳选择。它具有多种特性和功能,可确保复杂电路设计的准确生产,其先进的成像技术可提供精确的曝光控制,达到微观水平。
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