二手 CANON FPA 2500 i2 #9394905 待售

CANON FPA 2500 i2
ID: 9394905
晶圆大小: 8"
Wafer stepper, parts system, 8".
CANON FPA 2500 i2晶圆步进器是一种高度先进的半导体光刻机。它拥有一系列非常适合半导体行业现代应用的功能和功能。在其核心,CANON FPA-2500I2由一个光子源供电,该光子源可以输出最大250 mW的193nm光。这将产生高达6.5mm x 6.5mm的投影区域,曝光水平可达4.3 μ m,从而可以精确成像接触孔和线条/空间几何形状等特征。该装置采用佳能专有EDS--电子位移稳定性--特性.这样可以精确控制曝光期间的照明和聚焦条件,大大提高光刻结果的准确性和质量。FPA-2500 I2专门设计用于处理苛刻的应用,例如生产高音调内存芯片。此步进器可以在高达28 nm分辨率的各种特征上再现图像,以及高达710 x 710 mm的生产区域。不仅如此,FPA 2500 i2还能进行双向对焦控制和高级线宽控制,非常适合生产精度高、效果优异的半导体器件。FPA 2500 I 2还包括一些高级功能,以方便用户。模块化设计提供了轻松的设置和维修,而内置的维护安装确保了高精度的精度。此外,该设备还具有自动对齐、减小线宽变化和高级加速度的内置功能。简而言之,CANON FPA 2500 I 2晶圆步进器是一种功能强大的光刻设备,提供出色的用户控制、可靠的物理特性和精确的结果。它非常适合各种要求苛刻的半导体应用,使用户能够以最小的努力制造高质量、高音调的内存芯片。
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