二手 CANON FPA 2500 i3 #293595403 待售
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ID: 293595403
优质的: 1995
Stepper, 6"
Reticle size: CANON STD, 5"
Wafer feeder: L-Type
PA Unit: O.F Type, 6"
Chamber: TBW-CD73
Illuminator: FPA-2500 i-line
Console version: V 5.20 A
A Scope: i-Line, TTL
O/Z-Tilt unit: (3) Piezo stacks (L,M,R)
Support mount: (4) Servo passive dampers
Rated power: 18.7 kVA
Lamp house: 1.5 kW
Power supply: 200 V, 50/60 Hz, 3 Phase
1995 vintage.
CANON FPA 2500 i3是为生产先进半导体器件而设计的高性能、高精度、不断改进和升级的晶圆步进器。晶片步进器（wafer stepper）是一种光刻工具，用于通过一次有选择地曝光晶片的部分来将图像传输到硅晶片上。佳能FPA-2500I3配备了4kW激光曝光源，能够扫描宽达300毫米的晶片。该机器可以将图样应用于厚度为0.22um、厚度为0.25um的晶片,从而提供高精度曝光和无与伦比的精度和分辨率。步进器具有多种功能,可确保高度自动化和高效曝光,包括14英寸全彩色液晶面板和图形用户界面,以及复眼家庭定位查找器。机器以"逐方"的曝光风格运作，允许快速精确的晶圆对准。此外,它还利用自动曝光系统,允许精确曝光时间,并自动调整曝光,以防止任何曝光错误或图像质量问题。FPA-2500 I3的其他特点包括写速快、低背景噪声光束、低温闪光灯和新设计的光束传输系统。此功能可确保极短的写入时间以及完全控制曝光时间。该机器设计用于快速高效的生产过程,需要最短的转换时间,并允许同时进行多次曝光。总的来说,FPA-2500 I3是一个特殊的晶圆步进.凭借其先进的特性、高分辨率和高精度的曝光,它能够提供高吞吐量的优异效果。该机器非常适合生产先进的半导体器件,其独特的功能使其非常适合在当今繁忙且高度自动化的生产环境中使用。
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