二手 CANON FPA 2500 i3 #293601755 待售

CANON FPA 2500 i3是一种浸入式晶圆步进器，允许高分辨率图样的精密光刻工艺。步进器通过遮罩将光投射到涂有光刻材料的晶片表面上。该机器能够产生分辨率为0.25-1.0微米的图样。CANON FPA-2500I3的平台设计轻巧灵活，允许机器在多种设置中使用。该机器支持几种光学系统,例如：i-LINE、DUV和DUV ArF。面罩采用6英寸涡轮旋转标线，以提高生产率和更小的图桉覆盖。此外,步进器还具有较大的工作表面,允许处理更大的晶圆。为了防止表面污染,机器的光学器件设计为液浸和封闭。为了进一步保护光学器件，将电离器集成到机器中，以消除环境中的静电。这样可以确保图像质量不受干扰。机器还有一个ACR（防污染-反射）单元，有助于将空气中的颗粒量减少95%。高吞吐量是CANON FPA-2500 I3的主要目标,并且该机器配备了多种功能来帮助实现这一目标。相机装有一个五芯片CCD传感器，能够更快地捕捉图像。步进器可以处理多达170个晶圆/小时，同时允许出色的图像保真度和产生高分辨率的图样。为了进一步提高吞吐量,该机器采用了CANON"自动对焦和对齐"功能,可以快速、准确地对齐掩模和晶片。机器使用板载计算机运行，该计算机连接到所有各种运动控制器。这种集中控制系统提供了高精度和精确度。此外,计算机还具有内置通信接口,可用于远程操作、数据传输和机器诊断。作为安全措施，机器还有一个防撞装置，防止机器在用户正确验证所有对齐参数之前移动。总体而言，FPA-2500I3是精密光刻工艺的绝佳机器。它高度自动化,能够产生高质量、高吞吐量的高分辨率模式。机器的灵活性和安全特性使其成为许多不同类型应用的理想工具。