二手 CANON FPA 2500 i3 #293646546 待售
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CANON FPA 2500 i3晶片步进器（Wafer Stepper）是一种先进的光刻工具，设计用于半导体晶片上的图样精度特征。它配备了精密的光学和精密扫描阶段，以实现高分辨率的成像和严密的几何精度。CANON FPA-2500I3利用248-nm氟化物准分子激光源（KrF）产生光束，可以通过高性能光学器件成形并定向到所需的基板区域。步进器提供了从0.30到0.50的可变数值孔径（NA）功能,从而实现了具有不同阵列应用范围的亚微米分辨率成像。FPA-2500 I3具有双车道传输系统,可实现最大吞吐量和准确性。CANON FPA-2500 I 3与先进的晶圆对准系统配合使用，保证了晶圆的精确定位，以实现高精度的图样设计。它还配备了先进的图像处理和先进的基于矢量的图样处理能力，使其适合晶圆检测、关节切割和高精度光纤图样书写应用。步进器的设计也考虑到了机械的可重复性，并且能够以高度的精确度一致的模式化关键特征。此外,它还可以提供长期可靠性以及易于维护和操作。凭借灵活的设计，CANON FPA 2500 I 3能够支持各种精密的应用，包括IC封装、微机电系统（MEMS）和陶瓷技术应用。它是大批量生产光掩模和晶圆光刻的理想选择。
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