二手 CANON FPA 2500 i3 #293736139 待售
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CANON FPA 2500 i3是用于半导体器件制造的晶圆步进器。此工具在生产环境中提供领先的光刻性能。CANON FPA-2500I3提供了快速的模式化率、精确的对齐和高产工艺。它为0.2至0.3微米的图桉特征尺寸提供了卓越的曝光精度,非常适合IC封装、MEMS和LED光学屏蔽等多种工艺。FPA-2500 I3具有广泛的曝光特性,包括低阵列速度、高精度遮罩对准和均匀的光束形成。这样可以确保制造过程各层的阵列精度,因此由于掩模缺陷,几乎没有变化。CANON FPA-2500 I3利用其专有的CANON精密对准系统（C-PAS）技术,可以在毫秒的沉降时间内实现纳米级掩模定位精度。该系统的高精度直线电机伺服确保稳定和精确的晶圆传递无缝操作。FPA-2500I3具有3,725平方米的大曝光面积,可提供4束曝光,以减少阵列制作时间。它还具有高分辨率步进控制单元和4GB内存的快速FIB处理器,以确保可以将要处理的模式数量保持在最低限度。步进控制单元具有自我诊断功能，可自行执行故障诊断以实现快速维护。此外,CANON FPA-2500 I 3还为其曝光光学器件提供了较低的总运行成本和较高的吞吐量。该工具具有各种模式曝光的曝光条件和较低的拥有成本。而且，它与佳能和第三方供应商的一系列抗性材料兼容，使其成为先进半导体器件制造的通用高效工具。CANON FPA 2500 I 3是半导体生产市场必不可少的工具,为设备制造和封装过程提供无与伦比的精度和精确度。其先进的阵列设计速率、高精度对齐和一流的曝光精度使FPA-2500 I 3成为各种设备应用的最佳选择。
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