二手 CANON FPA 2500 i3 #293762557 待售
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CANON FPA 2500 i3是一种最先进的晶圆步进器，设计用于大直径光掩模的图样，用于集成电路光刻。CANON FPA-2500I3拥有业界领先的高达1500毫米的掩模尺寸和0.75 µm的出色线宽分辨率,提供无与伦比的成像精度和高通量。FPA-2500 I3采用先进的成像和照明系统。包括针孔阵列的两级相干照明设备确保了成像场的优越均匀性，并消除了线挡和透镜像差等干扰元件的影响。该系统采用高精度的六脚架来精确控制照明场相对于遮罩基板的位置，以达到最大精度。佳能FPA-2500 I3还具有精确的舞台控制和最高的精度.采用单片、超光滑的单件机械结构，具有先进的预补偿机构，达到高精度的位置重复性和纵向精度，将单位像差降至最低。这使FPA 2500 i3能够保证卓越的打印精度。此外,FPA-2500I3还提供了一套强大的维护和操作功能,使日常操作更轻松、更高效。其先进的Focus Monitor Machine使用光学传感器和分析算法来精确跟踪和监控相机参数如焦点深度、对比度和线宽，从而快速准确地完成成像和图样制作过程。总体而言,FPA 2500 I 3是一种强大而精确的晶圆步进器,旨在快速精确地绘制用于集成电路光刻的大直径光掩模。其一件式整体结构、先进的照明、成像和舞台控制系统以及监控功能，使其成为任何数字半导体制造实验室中必不可少的工具。
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